It-tagħmir għall-ispezzjoni tal-wejfer huwa kritiku għall-kontroll tar-rendiment fil-manifattura taċ-ċippa. Jwettaq kompiti li jinkludu skoperta ta' difetti viżwali, kejl dimensjonali, ittestjar tal-ħxuna tal-film u verifika tal-mudell taċ-ċirkwit. Minbarra lentijiet ottiċi, sensuri tal-immaġni u softwer tal-algoritmu, is-sistema bażi li tappoġġja l-unitajiet tal-moviment u ottiċi taġixxi bħala garanzija sottostanti essenzjali għall-eżattezza tal-ispezzjoni. Għal rekwiżiti ta' kejl sub-micron jew saħansitra nanometru, huma imposti restrizzjonijiet stretti fuq ir-reżistenza bażi għall-vibrazzjoni, l-istabbiltà termali u l-istabbiltà dimensjonali fit-tul. Materjali strutturali tradizzjonali bħall-ħadid fondut u l-liga ta 'l-aluminju ma tantx jistgħu jissodisfaw għal kollox kundizzjonijiet kumplessi ta' fab-workshop, għalhekk il-bażijiet tal-granit ta 'preċiżjoni huma adottati b'mod wiesa' f'diversi magni ta 'spezzjoni tal-wejfer. Billi juża l-esperjenza tal-proġett tas-semikondutturi, UNPARALLELED Group janalizza l-loġika li tqabbel u l-valur prattiku tal-bażijiet tal-granit mill-perspettiva tal-kundizzjonijiet tax-xogħol tal-linja tal-produzzjoni reali.
Jeżistu sorsi ta' interferenza multipli f'ambjenti ta' produzzjoni ta' spezzjoni ta' wejfer. Għalkemm it-temperatura u l-umdità tal-kamra nadifa huma kkontrollati, is-sħana kontinwa hija ġġenerata minn muturi interni u sorsi tad-dawl, u joħolqu gradjenti tat-temperatura lokali. Vibrazzjoni ħafifa persistenti ġejja minn fannijiet tal-workshops, robot handlers u tagħmir li jmissu magħhom. Il-bażijiet isofru tagħbijiet alternanti ċikliċi taħt tħaddim bla waqfien ta' 24 siegħa. Fi flussi tax-xogħol tipiċi ta 'spezzjoni tal-wejfer, jew is-sonda jew il-lenti ottika tibqa' wieqfa waqt li l-istadju tal-wejfer jiskenja b'veloċità għolja, jew l-istadju jibqa 'statiku u l-komponenti ottiċi jesegwixxu spostament ta' preċiżjoni għolja. Deformazzjoni bażi ċkejkna jew trażmissjoni tal-vibrazzjoni amplifikata se tirriżulta f'immaġini mċajpra, offset tal-pożizzjoni u sejbien ta 'difetti falz-pożittivi jew falz-negattivi, li jgħawġu direttament l-istatistika tar-rendiment taċ-ċippa. Għalhekk, il-materjal bażi għandu jagħti prestazzjoni komprensiva kontra l-interferenza minflok sempliċement iġorr il-piż.
L-istabbiltà termali tikkostitwixxi vantaġġ ewlieni wieħed tal-bażijiet tal-granit għat-tagħmir tal-ispezzjoni tal-wejfers. Is-sħana minn sorsi tad-dawl u muturi tal-moviment tittrasferixxi għall-bażi waqt it-tħaddim. Il-bażijiet tal-metall għandhom koeffiċjenti ta 'espansjoni termali għolja; is-sħana lokali tikkawża espansjoni u kontrazzjoni tal-komponenti minuri u tbiddel il-pjattaformi ottiċi. Granit ta 'preċiżjoni b'koeffiċjent ta' espansjoni termali ultra-baxxa effettivament irażżan id-deformazzjoni indotta minn konduzzjoni tas-sħana lokali u ttaffi l-impatti negattivi tal-gradjent tat-temperatura fuq l-iffukar ottiku u l-ippożizzjonar. Anke b'varjazzjoni moderata fit-temperatura tal-kamra nadifa, il-granit iżomm il-varjazzjoni ġeometrika minima, inaqqas il-kalibrazzjoni mill-ġdid frekwenti tat-tagħmir u jiggarantixxi dejta ta 'kejl konsistenti waqt spezzjoni kontinwa fit-tul, li hija vitali għall-ittestjar tal-wejfers onlajn ta' volum għoli.
Prestazzjoni superjuri tat-tnaqqis tal-vibrazzjoni tad-damping tistabbilizza s-sinjali tal-ispezzjoni. L-ispezzjoni tal-wejfer hija estremament sensittiva għall-mikro-vibrazzjoni. Il-vibrazzjoni esterna twassal għal jitter tal-immaġni u psewdo-difetti. Il-konfini tal-qamħ minerali ġewwa l-granit ixerrdu l-enerġija tal-vibrazzjoni malajr u jrażżnu t-trażmissjoni tal-vibrazzjoni. Meta jseħħu l-bidu-waqfien b'veloċità għolja tal-istadji XY u l-impatt mir-robots tal-immaniġġjar tal-wejfers, il-bażijiet tal-granit inaqqsu l-vibrazzjoni malajr u jipprevjenuha milli tippropaga għal moduli ottiċi. Meta mqabbel ma 'bażijiet tal-metall, il-granit iqassar il-ħin tat-tħassir tal-vibrazzjoni, jippermetti immaġini stabbli aktar mgħaġġla tal-lentijiet, itejjeb il-veloċità tal-iskannjar u l-produzzjoni. Il-merti tiegħu li jtaffu l-vibrazzjoni huma speċjalment prominenti fl-ispezzjoni ta 'difetti ottiċi ta' kamp qawwi / kamp skur u kejl konfokali ta 'preċiżjoni għolja.
Proprjetà naturali mhux manjetika tadatta għal kundizzjonijiet speċjali ta' wejfer tas-semikondutturi. It-tagħmir għall-ispezzjoni tal-wejfers jintegra bosta sensuri ta' preċiżjoni u komponenti ottiċi. Xi stazzjonijiet jipproċessaw wejfers iċċarġjati bl-elettriku. Il-bażijiet tal-metall tal-ħadid għandhom it-tendenza li jiġu magnetizzati u jipproduċu kampi manjetiċi mitlufa li jiddisturbaw is-sinjali tas-sensorju u potenzjalment jagħmlu ħsara lill-istrutturi tal-mikroċirkwiti fuq il-wejfers. Il-granit mhux manjetiku jelimina l-interferenza manjetika mitlufa u jipprovdi ambjent fiżiku nadif għall-istazzjonijiet ta 'spezzjoni. Sadanittant, il-granit għandu proprjetajiet kimiċi stabbli. Is-solventi tat-tindif u l-umdità fil-kmamar nodfa ma jissaddadx is-sottostrati jew jiġġeneraw partiċelli ta' trab metalliku. Jissodisfa standards stretti ta 'kontroll tal-partikuli f'workshops tas-semikondutturi u jnaqqas ir-riskji ta' kontaminazzjoni tal-wejfers minn debris li jaqgħu.
Disinn strutturali u proċess personalizzat għal tagħmir ta 'spezzjoni tal-wejfer. Il-bażijiet tal-granit għal sistemi ta 'spezzjoni tal-wejfer mhumiex pjanċi ċatti standard u huma personalizzati skont it-tqassim ġenerali tal-magna. Il-counter-sinks tal-immuntar maħdumin minn qabel, it-toqob tal-brilli tal-pożizzjonament, is-slots ta’ ħelsien tar-rotta tal-kejbils u l-uċuħ tad-datum jakkomodaw stadji ta’ mutur lineari, brackets ottiċi u assemblaġġi tas-sensuri. Biex jissodisfaw ir-rekwiżiti tal-kontroll tal-partiċelli tas-semikondutturi, l-uċuħ funzjonali bażi jirċievu trattament speċjali biex jissiġillaw il-mikro-pori, inaqqsu l-akkumulazzjoni tat-trab u jiffaċilitaw it-tindif tal-kamra nadifa. Għal mudelli mgħammra bi stadji li jġorru l-arja, it-tħin ta 'grad għoli jiġi applikat fuq uċuħ tax-xogħol tal-granit biex jiġi realizzat film ta' l-arja stabbli uniformi u moviment bla frizzjoni tal-wejfer. It-tixjiħ f'diversi stadji huwa implimentat waqt il-manifattura biex jiġi rilaxxat l-istress intern tal-ġebel u jiġi evitat it-tixjir dimensjonali bil-mod taħt il-produzzjoni tal-massa fit-tul.
Għandu jiġi nnutat li t-tagħmir ta 'spezzjoni tal-wejfers jistabbilixxi rekwiżiti ta' grad għoli għall-materja prima tal-granit, u l-irħam ordinarju huwa kompletament mhux kwalifikat. Xi fornituri jadottaw ġebel ta 'grad baxx bi preċiżjoni inizjali aċċettabbli, iżda l-preċiżjoni tiddegrada gradwalment taħt ċikliżmu termali kontinwu u vibrazzjoni fil-linji ta' produzzjoni. Granit iswed ta 'grad għoli biss, flimkien ma' screening vojt strett, tixjiħ tal-istress, makkinar ta 'preċiżjoni b'temperatura kostanti u spezzjoni kompleta tal-metroloġija, jista' jissodisfa t-talbiet tal-produzzjoni tal-massa fit-tul ta 'magni ta' spezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi.
Fil-qosor, għal tagħmir semikonduttur bħal sejbien ta 'difetti tal-wejfer u metroloġija dimensjonali, bażijiet ta' granit ta 'preċiżjoni huma aktar minn partijiet sempliċi li jġorru tagħbija; iservu bħala l-ostaklu ta 'preċiżjoni ta' sistemi ta 'spezzjoni sħaħ. Jibbenefikaw minn espansjoni termika baxxa, damping ta 'vibrazzjoni għolja, non-manjetiżmu u rilaxx baxx ta' partiċelli, il-bażijiet tal-granit itaffu d-disturbi kkawżati mit-temperatura, il-vibrazzjoni u l-kampijiet manjetiċi. Huma jistabbilizzaw l-immaġini ottiċi u l-pożizzjonament tal-moviment, inaqqsu r-rata ta 'skoperta falza u jappoġġaw spezzjoni tal-wejfers effiċjenti u affidabbli fil-linji ta' produzzjoni tas-semikondutturi.