Staqsi lil inġinier tat-tagħmir tas-semikondutturi x'inhu l-materjal strutturali l-aktar impenjattiv fil-qasam tagħhom, u r-risposta ġeneralment mhix metall. Huwa granit. Skaners tal-litografija, sistemi ta 'spezzjoni AOI, unitajiet ta' spezzjoni tar-raġġi X u għodod tal-metroloġija tal-wejfer kollha jistrieħu fuq granit maħdum bil-makna, u r-raġunijiet imorru aktar fil-fond mit-tradizzjoni. Dan l-artikolu jeżamina liema tagħmir semikonduttur fil-fatt jitlob mill-istruttura tiegħu, għaliex il-granit jissodisfa dawk it-talbiet aħjar mill-azzar jew l-aluminju, u dak li xerrej għandu jistenna minn fornitur li jservi din l-industrija.
Liema Tagħmir Semikonduttur jitlob minn Struttura
Il-manifattura tas-semikondutturi timbotta r-rekwiżiti strutturali għal estremi li ftit industriji jersqu:
Stabbiltà tal-pożizzjoni fuq l-iskala tan-nanometru. Stadju tal-litografija tallinja l-wejfer u r-reticle ma' baġits ta' overlay imkejla f'nanometri ta'-ċifra waħda. Kwalunkwe drift fil-bażi bejn il-kalibrazzjoni u l-espożizzjoni tikkonsma direttament dak il-baġit, minħabba li l-bażi hija r-referenza kwieta li kontriha kull mera u sensor huwa ssettjat.
Espansjoni termika ultra-baxxa. L-arja tal-kamra nadifa hija t-temperatura-ikkontrollata, iżda l-gradjenti għadhom jeżistu. B'espansjoni termali ta 'bejn wieħed u ieħor 5 sa 8 mikrometri kull metru għal kull kelvin, bażi tal-granit iċċaqlaq frazzjoni ta' mikrometru fuq metru fejn l-azzar jiċċaqlaq għaxar darbiet aktar, u l-aluminju aktar minn għoxrin darba.
Damping tal-vibrazzjoni. Il-granit griż ineħħi l-vibrazzjoni bosta drabi aktar malajr mill-azzar, għalhekk id-disturbi mill-pompi, il-linji tal-chiller u l-għodod li jmissu jitħassru qabel ma jilħqu l-pjan tal-kejl. Fl-AOI u l-ispezzjoni tal-wejfer, fejn l-immaġni tal-kameras karatteristiċi taħt il-100 nanometru, il-vibrazzjoni residwa tikkonverti direttament fi ċċajpar tal-immaġni.
Stabbiltà dimensjonali fit-tul-. Għodda installata għal għaxar snin trid iżżomm il-ġeometrija tagħha mingħajr ma jerġa-shimming. Il-porożità baxxa tal-granit u l-istruttura fina u stabbli tal-qamħa tfisser li la jassorbi kimiċi tal-kamra nadifa u lanqas tirrilassa taħt tagħbija kif jistgħu l-istrutturi tal-azzar iwweldjati.
Għaliex Granit Taħbita Metal għal Bażijiet Semikondutturi
L-azzar u l-aluminju huma b'saħħithom, magni u familjari, u huwa eżattament għaliex jiddominaw il-makkinarju ġenerali. Għal strutturi semikondutturi huma qosra fi tliet modi, u abażi tal-granit għall-manifattura tas-semikondutturijindirizza t-tlieta. L-ewwel, termali: il-metalli jmexxu s-sħana malajr u jespandu b'mod sinifikanti, għalhekk gradjent tat-temperatura fuq bażi ta 'l-azzar isir żball ġeometriku li jiċċaqlaq, filwaqt li l-granit jiżola u bilkemm jespandi. It-tieni, damping: ċirku strutturi metalliċi; kwiet tal-granit. Qafas tal-azzar fondut jew iwweldjat jgħaddi għal mijiet ta 'millisekondi wara tfixkil, filwaqt li bażi tal-granit tissetilja f'għexieren. It-tielet, l-istabbiltà: il-metalli jġorru tensjonijiet interni mill-irrumblar, l-iwweldjar u l-magni li jirrilassaw matul xhur, li jgħawġu l-istruttura. Il-granit, maqtugħ minn ġebel li kien stabbli għal żmien ġeoloġiku, m'għandux memorja bħal din.
Il-kontroargument huwa l-piż u l-fraġilità, u t-tnejn huma ġestiti bid-disinn. Sezzjonijiet tal-granit dimensjonati sew b'kustilji ta 'inġinerija u mudelli ta' daħħal jimmaniġġjaw it-tagħbijiet tas-servizz b'mod sikur, u l-massa nnifisha taħdem bħala vantaġġ, u żżid l-inerzja kontra l-vibrazzjoni tal-art. Fejn il-piż huwa ta' tħassib, l-istess ħanut jista' jgħaqqad wiċċ ta' referenza tal-granit ma' struttura eħfef minerali-cast jew ċeramika fl-assi li jiċċaqilqu.
Fejn Jgħix Granit Ġewwa Għodod Semikondutturi
L-applikazzjonijiet jikkonċentraw f'erba' familji:
Komponent tal-granit tal-magna tal-litografijasettijiet: pjanċi tal-bażi taħt l-istadji tal-wejfer u tar-retiku, Zerodur jew frejms ta 'referenza tal-granit, u strutturi tal-granit li jġorru l-qafas tal-metroloġija. Il-prestazzjoni overlay tibda hawn.
Tagħmir ta 'spezzjoni AOI u wejfer: bażijiet tal-granit taħt stadji XY ta'-veloċità għolja u gantri tal-kameras, fejn il-ħin tas-saldu tal-istadju jiddetermina l-fluss. Ħafna għodod jgħaqqdu bażi tal-granit ma' gwidi tal-ġarr tal-arja tal-granit- sabiex l-istadju li jiċċaqlaq iżomm f'wiċċ l-ilma fuq film ħoxnin ta' ftit mikrometri biss.
Sistemi ta 'spezzjoni tar-raġġi X-: strutturi ta' lqugħ tqal u muntaturi tas-sors jibbenefikaw mill-massa, id-damping u l-istabbiltà tal-granit, u jżommu l-ġeometrija tal-mogħdija tar-raġġ kostanti matul is-snin.
Strumenti tal-kejl tal-granit: il-laboratorju tal-metroloġija ta 'kull fab u l-bank tal-kalibrazzjoni ta' kull tagħmir OEM jiddependi fuq pjanċi tal-wiċċ tal-granit u kwadri prinċipali traċċabbli għal standards nazzjonali.
Madwar dawn, il-fornituri jipprovdu wkoll berings ta 'l-arja tal-granit għal moviment mingħajr frizzjoni, interfaces ta' immuntar imtaqqbin u mdaħħla bil-makna għal aktar jew nieqes 0.05 millimetri, u subassemblaġġi kompluti b'muturi u sensuri installati fl-istat cleanroom-lest.
Kif Jidhru l-Fornituri li Jikkwalifikaw fil-Prattika
L-OEMs tas-semikondutturi jikkwalifikaw lill-fornituri strutturali b'mentalità tal-awditjar, u l-verifiki jikkonċentraw fuq kapaċitajiet li jistgħu jitkejlu aktar milli slogans. Sieħeb tal-granit kapaċi juri: materjal ikkontrollat mill-barriera-bi datasheets li jiddikjaraw id-densità qrib 3,100 kg/m3; kapaċità CNC ta'-format kbir sabiex bażijiet twal jiġu mmaxinjati f'setup wieħed; kaptani tal-lapping li jlestu uċuħ ta' referenza bl-idejn; swali tal-assemblaġġ b'temperatura kostanti-li jissimulaw l-ambjent fab; u tagħmir ta 'spezzjoni b'kalibrazzjoni traċċabbli, bħal komparaturi Mahr Ġermaniżi, livelli elettroniċi Żvizzeri u interferometrija tal-laser Renishaw.
Aħna nipprovdu strutturi tal-granit lill-bennejja tat-tagħmir tas-semikondutturi fl-Asja, l-Ewropa u l-Amerika ta 'Fuq, inklużi kumpaniji fis-settur tal-għodda tas-semikondutturi u ż-żamma tax-xogħol bħal STI u 5th Axis, kif ukoll gruppi usa' tal-manifattura tal-elettronika. Il-partijiet ivarjaw minn litografija-pjanċi tal-bażi tal-istadju sa strutturi tal-gantry AOI, mogħtija b'rapporti ta' flatness imkejla tal-kontorn-, ċertifikati tal-materjal u, fejn meħtieġ, ippakkjar ta' cleanroom. Ismijiet li m'aħniex liberi li nippubblikaw, iżda kapaċità li aħna kuntenti li nuru fl-impjant tagħna jew permezz ta 'spezzjoni tal-vidjo live.
Lista ta 'kontroll tax-xerrej għal Komponenti tal-Granit Semikondutturi
Qabel ma tagħmel ordni, ikkonferma dawn il-punti bil-miktub:
1. Datasheet tal-materjal b'sors tal-barriera, densità, saħħa kompressiva u espansjoni termali.
2. Flatness, paralleliżmu u tolleranzi tal-pożizzjoni tat-toqba għal kull tpinġija, bl-istandard li jirregola jismu (DIN 876, ASME B89.3.7, JIS B7513 jew klijent -speċifiku).
3. Kontenut tar-rapport tal-kejl: strument, temperatura, mudell tal-iskannjar u data tal-kontorn.
4. Kompatibilità tal-kamra nadifa: issiġillar baxx ta '-outgassing, reżistenza kimika u ippakkjar.
5. Kapaċità ta'-format kbir jekk il-bażi taqbeż it-3 metri, u makkinar ta'-setup wieħed biex jiġu evitati żbalji mill-ġdid ta'-ikklampjar.
6. Appoġġ fit-tul-: ri-lapping, inserzjonijiet żejda u servizz ta 'kalibrazzjoni.
Mistoqsijiet Frekwenti
Għaliex il-granit huwa preferut fuq l-azzar għal bażijiet ta 'tagħmir semikonduttur?
Tliet proprjetajiet jiddeċieduha: l-espansjoni termali tal-granit hija bejn wieħed u ieħor għaxra ta 'l-azzar, id-damping tal-vibrazzjoni tiegħu huwa bosta drabi ogħla, u m'għandu l-ebda stress intern li jirrilassaw maż-żmien. L-azzar jibqa' utli għall-parentesi u l-frejms madwar il-granit, iżda l-istruttura ta' referenza nnifisha hija granit fi kważi kull għodda-high-end.
Liema tolleranza tista 'tikseb bażi tal-granit għat-tagħmir tal-litografija?
Skont id-daqs, flatness ta '3 sa 5 mikrometri hija rutina fuq bażijiet ta' multi-meter, bi preċiżjoni tal-pożizzjoni tat-toqba madwar aktar jew nieqes 0.05 millimetri u uċuħ ta 'referenza lapped li jżommu qari ripetut. Tolleranzi lokali aktar stretti jistgħu jinkisbu fuq muntaturi ottiċi iżgħar; it-tpinġija u l-istandard li jirregola jiddefinixxu n-numri.
Il-komponenti tal-granit jeħtieġu trattament speċjali għal cleanrooms?
Il-ġebla nnifisha hija faċli għall-kamra nadifa: ma tissaddadx, tneħħi l-gass jew titfa 'partiċelli ladarba lapped u ssiġillat. Il-fornituri jżidu siġillanti ta' ħruġ ta' gass baxx-, inserts li ma jissaddadx u ippakkjar nadif sabiex il-parti tasal lesta għall-installazzjoni diretta f'ambjent ikkontrollat.
Kif għandhom ix-xerrejja jqabblu l-fornituri tal-granit għal proġetti ta 'semikondutturi?
Itlob għall-istess evidenza li verifika OEM tkun: traċċabilità tal-materjal, lista ta'-magni kbar, deskrizzjoni tal-proċess ta' lapping, tagħmir ta' spezzjoni b'traċċabilità ta' kalibrazzjoni, dettalji tal-faċilità ta'-temperatura kostanti u proġetti ta' referenza ta' daqs u industrija simili. Fornituri li jistgħu jiddokumentaw is-sitta kollha huma rari u jiswew li jikkwalifikaw kmieni fi programm.
Konklużjoni
Litografija avvanzata u tagħmir ta 'spezzjoni jistrieħu, pjuttost litteralment, fuq granit. L-istabbiltà termali tal-materjal, id-damping u l-ġeometrija fit-tul-jagħmluha l-unika struttura ta' referenza sensibbli fuq skali nanometriċi, u l-kapaċitajiet tal-maċinazzjoni, tal-lapping u tal-metroloġija tal-fornitur jiddeċiedu jekk dawk il-proprjetajiet jibqgħux ħajjin fl-għodda installata. Jekk qed tispeċifika strutturi għal tagħmir semikonduttur, agħżel sieħeb li jikkontrolla l-barriera, magni formati kbar f'setups singoli, dawriet bl-idejn, miżuri bi strumenti traċċabbli u vapuri cleanroom-lesti. It-tim tagħna jagħmel eżattament dan, u aħna ferħanin li nirrevedu t-tpinġijiet tiegħek u nirrakkomandaw l-ispeċifikazzjoni tal-granit li tipproteġi l-baġit ta 'overlay tiegħek.
