Il-manifattura tas-semikondutturi timbotta lejn daqsijiet ta 'karatteristiċi iżgħar u baġits ta' pożizzjonament aktar stretti kull ġenerazzjoni, u l-istruttura mekkanika taħt l-ottika, l-istadji u l-metroloġija għandha żżomm il-pass. Għal ħafna pjattaformi ta 'preċiżjoni l-konversazzjoni ddur għal granit naturali, mhux bħala bażi waħda iżda bħala familja ta' komponenti strutturali, bażijiet, pontijiet, kolonni u gantri, użati fejn l-istabbiltà ġeometrika taħt tagħbija, l-istabbiltà termali u l-kontroll tal-vibrazzjoni jiddeċiedu jekk speċifikazzjoni tistax tintlaħaq. Dan l-artikolu jispjega, għal disinjaturi ta 'tagħmir u timijiet ta' proġetti OEM, għaliextagħmir semikonduttur komponenti tal-granitjidhru f'tant magni ta'-preċiżjoni għolja, u x'għandek tispeċifika meta timxi minn kunċett għal parti apposta.
Liema tagħmir semikonduttur jitlob mill-istruttura tiegħu
Pjattaforma tal-immaniġġjar tal-wejfer jew tal-maskra hija munzell ta 'elementi li jiċċaqalqu u fissi: stadju li jiskenja, pont jew gantry li jġorr l-ottika jew ir-ras tal-kejl, kolonni li jżommu l-qafas ta' referenza, u l-uċuħ tad-datum li kollox huwa allinjat magħhom. L-istruttura trid iżżomm il-ġeometrija waqt li mutur lineari jaċċellera ġarr, waqt li taħdem pompa tal-vakwu, u waqt li t-temperatura tal-kamra tgħaddi bi frazzjoni ta 'grad. It-talbiet li l-materja huma ġeometrija stabbli taħt tagħbija, rispons ta 'vibrazzjoni baxx u-damed tajjeb, koeffiċjent ta' espansjoni termali żgħir, u uċuħ li jibqgħu ċatti u dritti biżżejjed li l-iżbalji tas-sistema tal-moviment stess jiddominaw aktar milli dawk tal-qafas.
L-ebda materjal wieħed ma jirbaħ fuq kull assi, iżda l-granit huwa għażla frekwenti għall-istruttura ta 'referenza minħabba li huwa stabbli b'mod naturali b'mod dimensjonali, jnaqqas il-vibrazzjoni aħjar minn azzar jew ħadid fondut, u huwa makkinabbli għal tolleranzi ġeometriċi stretti ħafna bħala parti monolitika.
Fejn jintużaw komponenti tal-granit f'tagħmir semikonduttur
Il-granit jintuża kull fejn tkun meħtieġa referenza stabbli u baxxa-drive. Applikazzjonijiet komuni jinkludubażi tal-granit għal tagħmir semikonduttur, il-qafas ta 'appoġġ għall-istazzjonijiet ta' spezzjoni tal-wejfer, il-pont jew il-gantry ta 'sistemi ta' spezzjoni ottika, u l-kolonni u l-pjattaformi tal-litografija-maġenb u għodod tal-metroloġija. Aqafas tal-granit għall-ispezzjoni ottikau abażi tal-granit għall-ispezzjoni tal-wejferhuma tnejn mill-aktar talbiet komuni, minħabba li l-ottika u l-kamera jridu joqogħdu fuq pjan li ma jiċċaqlaqx bejn il-kejl.
Bażi tal-granit, pont, kolonna u gantry: x'jagħmel kull wieħed
L-ismijiet jiddeskrivu r-rwol, mhux biss il-forma, u d-differenzi jiddeċiedu liema tolleranzi huma kritiċi.
| Komponent | Rwol fil-magna | Karatteristiċi tipiċi | Ġeometrija li tgħodd l-aktar |
|---|---|---|---|
| Bażi | Il-pedament l-assi li jiċċaqilqu joqogħdu fuqhom | Kuttunar tal-immuntar, linji gwida, inserts bil-kamin | Flatness tal-wiċċ tal-immuntar, paralleliżmu mad-datum |
| Pont | Mifrux iż-żona tax-xogħol, iġorr ir-ras | Wiċċ twil ta 'fuq, sedili tal-ferrovija, sezzjonijiet ta' tħaffif | Straightness, ebusija, massa simmetrika |
| Kolonna | Referenza vertikali, iżżomm l-ottika jew l-istadju | Toqob bored, binarji vertikali, inserzjonijiet | Perpendikularità, flatness tal-wiċċ vertikali |
| Gantry | Żewġ kolonni flimkien ma 'pont, vjaġġ twil | Par kolonna mqabbla, crossbeam | Perpendikolarità taż-żewġ saqajn, drittità tar-raġġ trasversali |
Għaliex il-flatness, straightness u perpendikularità jaffettwaw il-prestazzjoni
L-iżbalji ġeometriċi tal-istruttura jinfirxu direttament fil-kejl u l-ippożizzjonar. Bażi li l-wiċċ tal-immuntar tagħha mhuwiex ċatt iġiegħel lill-binarji u lill-istadju jsegwu dak l-iżball; pont li ma jkunx dritt liwjiet il-mogħdija tal-iskan; kolonna li mhix perpendikulari tmejjel dak kollu li ġġorr. F'termini ta' magni-għodda u magni tal-kejl-dawn huma l-iżbalji ġeometriċi maqbuda minn standards bħall-ISO 230-1, u huma l-iżbalji li kontrollur ma jistax jikkumpensa bis-sħiħ jekk il-ġeometrija mhux ipproċessata tkun fqira. Abażi tal-magni tal-granit ta 'preċiżjonigħalhekk jibda minn referenza monolitika lappata aktar milli qafas tal-azzar immuntat, għalhekk il-ġeometrija tal-ewwel-ordni hija diġà qrib qabel kwalunkwe kumpens.
Id-dritta u l-perpendikularità mhumiex numri astratti: ftit mikrometri ta' inklinazzjoni tal-kolonna fuq vjaġġ ta' 500 mm jistgħu jċaqalqu raġġ iffukat jew ponta ta' sonda b'aktar milli tippermetti t-tieqa tal-proċess. Huwa għalhekk li l-GD&T tad-disinn, speċifikat għall-ISO 1101, jittieħed bħala input tal-manifattura aktar milli suġġeriment.
Stabbiltà tal-materjal u kontroll tal-vibrazzjoni: għaliex jappartjenu fil-fażi tad-disinn
Il-każ għall-granit huwa l-aktar dwar dak li ma jagħmilx. Il-koeffiċjent ta 'espansjoni termali tiegħu huwa ta' madwar 5 sa 8 × 10⁻₆ għal kull grad, imkejjel minn ASTM E228, bejn wieħed u ieħor terz ta 'l-azzar, għalhekk drift tat-temperatura jċaqlaq l-istruttura inqas. It-tqabbil tal-materjal ippubblikat ipoġġi t-tnaqqis logaritmiku tal-granit naturali, miżura ta 'kemm il-vibrazzjoni tmut malajr, madwar 0.002 sa 0.010, diversi drabi dik tal-ħadid fondut griż. Għal pjattaforma bilqiegħda ħdejn pompa tal-vakwu jew apparat li jimmaniġġja l-arja tal-kamra nadifa, dak id-damping iqassar il-ħin tas-saldu wara ċaqliq.
Dawn huma deċiżjonijiet tal-fażi ta' disinn-, mhux retrofits. Inti tagħżel il-materjal u d-distribuzzjoni tal-massa qabel ma jinqata 'l-qafas, għaliex ma tistax iżżid damping jew tneħħi s-sensittività termali wara. Il-valur ta' akomponent strutturali tal-granitjiġi deċiż fuq it-tpinġija, mhux fuq il-folja tal-ispeċifikazzjoni.
Integrazzjoni tal-granit b'muturi lineari, encoders, rails, air bearings u vakwu
Parti tal-granit rari hija l-mekkaniżmu lest; huwa l-ospitanti stabbli għall-elementi attivi. Il-punti ta 'integrazzjoni huma fejn jgħixu ħafna mid-dettall tal-manifattura.
| Subsistema | Kif jiltaqa mal-granit | X'għandek tiddefinixxi kmieni |
|---|---|---|
| Mutur lineari | Stator magħqud jew imbarrat ma' wiċċ bil-makna | Flatness tal-wiċċ tat-tgħammir, clearance tal-kalamita |
| Grating encoder jew skala | Skala immuntata fuq tarf ta 'referenza dritta | Straightness tat-tarf tal-qari, mogħdija termali |
| Ferrovija gwida | Binarji bilqiegħda fuq strixxa lapped jew art | Paralleliżmu tas-sedili tal-ferrovija, mudell daħħal |
| Bearing ta 'l-arja | Rides fuq mod tal-granit illustrat, araarja tal-granit li jkollhomuċuħ | Flatness u finitura tal-mod, porożità |
| Sistema tal-vakwu | Portijiet u kanali maqtugħin fl-istruttura | Uċuħ tas-siġillar, ħruġ ta' gass-finitura kompatibbli |
L-inserzjonijiet bil-kamin, it-toqob tal-kavilji u l-uċuħ tal-lokalizzazzjoni huma mmaxinjati fil-ġebla sabiex is-sottosistemi jirreferu għall-istess datum monolitiku. Li tikseb dawn l-interfaces dritt hija d-differenza bejn assemblaġġ li jallinja fuq il-bank u wieħed li jiġġieled miegħek għal jiem.
X'għandhom jipprovdu l-klijenti OEM qabel id-disinn tad-dwana
Komponent tal-granit tad-dwana huwa kollaborazzjoni tad-disinn, u aktar ma jasal kmieni t-tpinġija, aħjar ir-riżultat. It-tabella hawn taħt telenka dak li jgħin fornitur jirritorna disinn utli-għall--pariri dwar il-manifattura.
| Input | Għaliex huwa meħtieġ |
|---|---|
| Tpinġija 2D b'GD&T (ISO 1101) u datums | Issettja kull tolleranza ġeometrika li għandha tinżamm |
| Mudell 3D (STEP jew IGES) | Jikkonferma t-tneħħija, il-massa u l-makkinarju |
| Tagħbijiet, punti ta 'appoġġ u vjaġġar | Drives ebusija u sag analiżi |
| Daħħal u skeda tat-toqba b'tolleranzi | Jiffissa l-iskema tal-magni u l-lokalizzazzjoni |
| Uċuħ tal-interface għall-binarji, muturi, skali | Tallinja s-sottosistemi attivi ma' datum wieħed |
| Ambjent operattiv u klassi cleanroom | Jiddeċiedi l-finitura, is-siġillar u l-kontrolli tal-materjal |
Anke skeċċ tal-kunċett bikri huwa utli: iħalli lill-fornitur jimmarka karatteristika li se jkun diffiċli biex iżżomm, jipproponi alternattiva monolitika għal assemblaġġ, jew iwissi li flatness mitluba mhix realistika fid-daqs. Aassemblaġġ tal-granit tad-dwanaippjanat flimkien jiswa inqas biex itenni minn wieħed mogħti tard.
Spezzjoni u aċċettazzjoni: dak li huwa kkontrollat
Komponent tal-granit huwa aċċettat kontra t-tpinġija, mhux kontra grad ta 'katalgu. Il-kontrolli li huma importanti għall-prestazzjoni tat-tagħmir huma elenkati hawn taħt, u kull wieħed huwa rreġistrat sabiex il-parti tkun tista 'tiġi traċċata.
| Oġġett ta' spezzjoni | Dak li jikkonferma | Strument tipiku |
|---|---|---|
| Dimensjonijiet ġenerali u lokali | Il-parti taqbel mal-mudell | CMM, gauge |
| Flatness tal-uċuħ tal-immuntar | Binarji u stadji joqogħdu vera | Livell elettroniku, laser, straight edge |
| Paralleliżmu bejn l-uċuħ | Ir-relazzjonijiet tad-datum iżommu | CMM, komparatur |
| Perpendikularità tal-uċuħ tal-kolonni | Ir-referenzi vertikali huma veri | CMM, kwadru, awtocollimatur |
| Pożizzjonijiet tat-toqob u postijiet tad-dħul | Is-sottosistemi jillokalizzaw b'mod korrett | CMM, jig bore check |
| Daħħal pull-barra u bilqiegħda | Il-ħjut u l-inserzjonijiet jistgħu jservu | Iġbed test, viżwali, gauge tal-ħajt |
| Interfaċċja tal-assemblaġġ tajbin | L-interfaces jilħqu l-parti tat-tgħammir | Iċċekkjar tal-apparat, assemblaġġ ta 'prova |
Uċuħ ta 'referenza huma kkontrollati fid-datum ta' 20 grad ta 'ISO 1, minħabba li numru ta' flatness ikkwotat f'temperatura ħażina mhuwiex in-numru li l-magna se tara fis-servizz. Referenzi tal-grad bħal DIN 876 u ISO 8512-2 japplikaw fejn tkun involuta funzjoni tal-pjanċa tal-wiċċ.
Makkinar u spezzjoni ikkontrollata ta'-temperatura MINGĦAJR PARALLEL
Provvisti bla paraguntagħmir semikonduttur komponenti tal-granit, komponenti strutturali tal-granit, bażijiet tal-granituassemblaġġi tal-granit tad-dwana, inklużgantry tal-granit għal tagħmir semikondutturkonfigurazzjonijiet, minn granit iswed dens. Il-magni, it-tħaffir, it-twaħħil tal-inserzjoni u l-imwarrbin isiru f'workshop ikkontrollat fit-temperatura- u l-umdità-, u l-komponenti jiġu spezzjonati fuq l-istess datum monolitiku li se jirreferu għalihom fis-servizz. Aħna naħdmu minn tpinġijiet 2D u 3D tal-klijenti u nipprovdu disinn-għall--feedback tal-manifattura dwar tolleranzi, inserzjonijiet u interfaces. Ix-xogħol usa tagħna fuqgranit f'tagħmir semikonduttur, CMM u laseru fuqli tispeċifika bażi tal-magni tal-granit tad-dwanatkopri l-isfond tal-inġinerija dawn il-partijiet ipoġġu fi ħdan.
Mistoqsijiet ta' spiss
Il-granit huwa dejjem il-materjal bażi t-tajjeb għat-tagħmir tas-semikondutturi?
Le, u t-tweġiba onesta tiddependi fuq l-assi. Il-granit huwa b'saħħtu fejn għandek bżonn ta 'referenza ta' espansjoni stabbli,-damped sew, baxxa-, iżda mhix l-għażla għal kull rwol strutturali, u l-konkrit polimeru jew komposti tal-azzar jixirqu xi applikazzjonijiet ta 'magħżel b'veloċità għolja-. L-approċċ it-tajjeb huwa li jiġi assenjat materjal skond il-funzjoni aktar milli skond il-vizzju.
Jistgħu jintużaw komponenti tal-granit f'vakwu jew cleanroom?
Iva, bil-finitura t-tajba u s-siġillar. Ġebel poruż jew ssiġillat ħażin jista 'jibda l-gass, għalhekk il-grad tal-materjal, il-finitura tal-wiċċ u l-uċuħ tas-siġillar huma speċifikati kontra l-klassi operattiva, referenzjati għal standards bħal ISO 14644 għal cleanrooms, u verifikati qabel il-kunsinna.
Kif jinżammu l-inserzjonijiet bil-kamin u t-toqob għat-tolleranza?
Inserzjonijiet u toqob huma mmaxinjati fil-ġebla monolitika u jinsabu għall-istess datum bħall-uċuħ funzjonali, imbagħad iċċekkjati individwalment minn CMM għall-pożizzjoni u permezz ta 'test tal-ġibda għal bilqiegħda, sabiex is-sottosistemi attivi jirreferu oriġini vera waħda.
X'ħin għandu jistenna OEM għal parti tal-granit tad-dwana?
Il-ħin taċ-ċomb isegwi l-għażla vojta, il-fond tal-magni u l-ambitu tal-ispezzjoni. Jiġi stabbilit pjan realistiku ladarba t-tpinġija u t-tolleranzi jiġu riveduti, minħabba li l-ġeometrija li tista' tinkiseb, mhux il-kalendarju, tistabbilixxi l-iskeda għal parti monolitika ta'-tolleranza stretta.
Itlob reviżjoni tad-disinn
Jekk qed tispeċifika struttura tal-granit għal tagħmir ta' spezzjoni semikondutturi, wejfer-jew-ottika-, ibgħat id-disinji 2D u 3D, it-tagħbijiet u t-tolleranzi, u aħna nirritornaw disinn-għa{-suġġerimenti ta' manifattura u-fajibilità ta' manifattura li jkopru għażliet ta' ġeometrija, spezzjoni u valutazzjoni tal-interfaċċja li tista' tiġi inserita. Ibda minn tagħnaformola ta' inkjesta, jew aqra l-isfond fuqgranit f'tagħmir ta 'preċiżjoniu fuqli tispeċifika bażi tal-magni tal-granit tad-dwanaqabel ma tinforma lill-fornitur.