Fl-ispezzjoni ta 'preċiżjoni tas-semikondutturi, il-ġudizzju tal-parametri kollha ta' tolleranza dimensjonali, morfoloġiċi u ġeometriċi jiddependi fuq oriġini ta 'referenza oġġettiva u stabbli. Ħafna jqisu l-pjanċi tal-wiċċ tal-granit sempliċement bħala ċangaturi ta 'appoġġ ċatti, li jinjoraw li jaġixxu bħala t-trasportatur ta' referenza fiżiku għas-sistema ta 'spezzjoni kollha. Spezzjoni ottika, kejl tas-sonda, skannjar tal-profil tal-wejfer u ġbir ta 'dejta tal-kejl tal-koordinati essenzjalment iqabblu l-kampjun ittestjat mal-wiċċ ta' referenza tal-granit. L-eżattezza ġeometrika u l-istabbiltà dimensjonali tal-pjanċi tal-wiċċ tal-granit jiddefinixxu l-oriġini tad-dejta tal-ispezzjoni u jiddeterminaw il-kredibilità u r-ripetibbiltà tar-riżultati tal-kejl.
Il-loġika sottostanti ta 'spezzjoni ta' preċiżjoni tistrieħ fuq kejl relattiv. Sondi ta 'spezzjoni, lentijiet ottiċi u sensuri ta' spostament jistgħu jaqbdu biss sinjali ta 'spostament relattiv u ma jistgħux jiddeterminaw b'mod indipendenti żbalji ġeometriċi veri. B'lapping tal-livell nanometru-, il-pjanċi tal-wiċċ tal-granit jiffurmaw pjan ċatt ideali biex iservu bħala wiċċ ta 'referenza globali u jibnu referenza żero unifikata għas-sensuri. Qabel l-ispezzjoni, it-tagħmir iwettaq sonda żero u jikkoordina l-kostruzzjoni tas-sistema bbażata fuq il-wiċċ ta 'referenza tal-granit. Id-dejta kollha sussegwenti dwar l-għoli, il-flatness u l-paralleliżmu tal-wejfers u l-komponenti huma ġġenerati minn din is-sistema ta 'koordinati ta' referenza. Kwalunkwe deformazzjoni jew drift ta 'preċiżjoni tal-wiċċ ta' referenza innifsu se jikkawża devjazzjonijiet sistematiċi fid-dejta kollha tal-kejl miġbura u jwassal għal ġudizzju ħażin tal-massa.
Il-valur tal-parametru referenzjarju tiegħu jinsab fl-effett unifikat tal-parametri referenzjarji ta 'tolleranza ġeometrika. Lil hinn mill-flatness, parametri ġeometriċi bħal perpendikularità, straightness u paralleliżmu fl-ispezzjoni tal-komponenti semikondutturi huma derivati mill-wiċċ ta 'referenza. Pjanċi tal-wiċċ tal-granit jistgħu jiġu pproċessati bi truf tal-ġenb ta 'referenza, toqob tal-brilli ta' pożizzjonament u skanalaturi ta 'referenza tal-immuntar biex jiffurmaw sistema ta' referenza kompluta, aktar milli sempliċement pjan ċatt wieħed. Fi stazzjonijiet ta 'sonda tal-wejfer u xenarji ta' spezzjoni tal-profilometru ottiku, l-istadji tal-biċċa tax-xogħol, l-għodda tal-ippożizzjonar u l-linji ta 'gwida tal-ispostament huma mmuntati b'referenza għall-wiċċ ta' referenza tal-granit. Dan jiżgura punti ta' referenza konsistenti tul assi X/Y/Z u jelimina żbalji kumulattivi ta' kejl ikkawżati minn allinjament ħażin tal-benchmark bejn assi multipli.
Il-fedeltà tal-benchmark taħt spezzjoni kontinwa ta'-tul twil hija l-vantaġġ ewlieni li jiddistingwi l-pjanċi tal-wiċċ tal-granit minn materjali oħra. Tagħmir ta 'spezzjoni fuq linji ta' produzzjoni ta 'semikondutturi jwettaq kampjuni tal-lott mhux interrott. L-iskannjar kontinwu minn sensers iġib akkumulazzjoni tas-sħana lokali, u varjazzjonijiet żgħar fit-temperatura jeżistu fl-ambjent tal-workshop. Pjanċi ta 'referenza tal-metall għandhom koeffiċjenti ta' espansjoni termali għolja; iż-żieda fit-temperatura lokali tgħawweġ il-wiċċ ta 'referenza u tbiddel l-oriġini tal-punt ta' referenza, li teħtieġ rikalibrazzjoni frekwenti. B'kuntrast, pjanċi tal-wiċċ tal-granit ta 'preċiżjoni UNPARALLELED® għandhom koeffiċjent ta' espansjoni termali ultra-baxx. L-istruttura densa tal-kristall tagħhom kważi ma fiha ebda stress intern, u d-deformazzjoni indotta mill-varjazzjoni tat-temperatura hija żgħira u riversibbli. Matul l-ispezzjoni kontinwa li tkopri sigħat jew saħansitra xhur, il-forma tal-wiċċ ta 'referenza tibqa' stabbli, is-sistema ta 'koordinati tibqa' ħielsa minn drift, u d-dejta tal-kejl tal-ewwel u l-aħħar biċċiet tax-xogħol iżżomm il-konsistenza.
Il-kapaċità li tissakkar il-punt ta 'referenza taħt kundizzjonijiet ta' vibrazzjoni hija fattur indispensabbli fl-ispezzjoni ta 'preċiżjoni. Anke jitter fuq skala nanoskala waqt l-ispezzjoni se jinqabad minn sensuri ta'-preċiżjoni għolja u jiġi kkonvertit f'ħoss li jgħawweġ ir-riżultati tal-kejl. Il-proprjetà naturali ta 'damping għoli tal-granit tassorbi mikro-vibrazzjonijiet mill-art u l-mekkaniżmi ta' trażmissjoni tat-tagħmir u tnaqqas il-jitter tal-wiċċ ta 'referenza. Għal xenarji estremament sensittivi għall-vibrazzjoni bħal spezzjoni ottika AOI u interferometrija tad-dawl abjad, pjanċi tal-wiċċ tal-granit iżidu iżolament passiv tal-vibrazzjoni għall-benchmark tal-kejl, iżommu l-wiċċ ta 'referenza statiku, inaqqsu l-interferenza mill-istorbju tal-vibrazzjoni fuq id-dejta tal-kejl u jtejbu r-riżoluzzjoni tal-ispezzjoni.
L-indafa u r-reżistenza għall-ilbies jiggarantixxu validità fit-tul-tal-parametru referenzjarju. Matul operazzjonijiet ta 'spezzjoni, tagħbija u ħatt ripetuti ta' biċċiet tax-xogħol u pożizzjonament ta 'għodda kontinwament togħrok mal-wiċċ ta' referenza. Pjanċi ta 'referenza tal-metall ordinarji huma suxxettibbli għal grif u burrs; ladarba jintlibes, il-wiċċ ta 'referenza jonqos. Xi materjali tal-ġebel għandhom pori kbar li faċilment jaqbdu trab u likwidu ta 'spezzjoni residwu, li jikkontaminaw wejfers u jagħmlu ħsara lill-mikro-morfoloġija tal-wiċċ. Wara trattament ultra-fin ta 'lapping u siġillar, il-pjanċi tal-wiċċ tal-granit huma iebsa, reżistenti għall-ilbies-u kimikament inerti, jirreżistu l-grif. Mingħajr pori miftuħa fuq il-wiċċ, il-mikro-topografija tagħhom tibqa' stabbli wara użu ripetut-fit-tul. Il-pjan ta 'referenza mhux se jbiddel minħabba l-użu, u jnaqqas il-frekwenza tas-sostituzzjoni tal-pjanċa ta' referenza u l-kalibrazzjoni mill-ġdid.
Għandu jiġi ċċarat li l-prestazzjoni ta 'referenza tal-pjanċi tal-wiċċ tal-granit ma tistax tinkiseb mingħajr verifika tal-magni u l-metroloġija. Indikaturi inklużi l-flatness u d-dritta tal-wiċċ ta' referenza għandhom jiġu vverifikati bi strumenti ta' ttestjar ta'-klassi dinjija taħt ambjenti ta' metroloġija ta'-temperatura kostanti, bi preċiżjoni traċċabbli għal standards nazzjonali tal-metroloġija. Kull pjanċa tal-wiċċ tal-granit hija kkunsinnata b'ċertifikat tal-metroloġija komplut biex tirreġistra b'mod diġitali l-valuri ta 'referenza għall-klijenti. Matul l-applikazzjoni fuq-post, sakemm il-pedament tal-installazzjoni huwa stabbli u l-ambjent jibqa 'fil-medda tad-disinn, dan il-punt ta' referenza fiżiku jista 'jservi bħala referenza traċċabbli għal tagħmir ta' spezzjoni għal żmien twil, li jippermetti tqabbil tad-dejta bejn xiftijiet, tagħmir u linji ta 'produzzjoni.
Konklużjoni
Fl-ispezzjoni ta 'preċiżjoni tas-semikondutturi, pjanċi tal-wiċċ tal-granit huma aktar minn sempliċi pjattaformi għat-tqegħid ta' biċċiet tax-xogħol. Huma l-oriġini fiżika u l-benchmark ġeometriku tas-sistema kollha tal-kejl. Huma jistabbilixxu sistema ta 'koordinati unifikata għal sensuri u jġorru sett sħiħ ta' punti ta 'referenza ġeometriċi inklużi flatness, perpendikularità u paralleliżmu. Bi drift termali baxx, damping għoli għat-trażżin tal-vibrazzjoni, reżistenza għall-ilbies u indafa, jippreservaw l-awtentiċità tal-punti ta 'referenza waqt spezzjoni tal-lott ta'-tul twil. Hekk kif ir-rekwiżiti ta 'spezzjoni fuq skala nanoskala jkomplu jiżdiedu, dan il-punt ta' referenza fiżiku jaġixxi bħala l-pedament fundamentali li jiżgura data ta 'spezzjoni tas-semikondutturi affidabbli, ripetibbli u traċċabbli.