Postijiet tax-xogħol ta 'spezzjoni tas-semikondutturi huma estremament sensittivi għal interferenza manjetika u korrużjoni medja. Disturbi manjetiċi ċkejkna jew debris tas-sadid jistgħu jikkawżaw devjazzjonijiet tal-pożizzjonament tal-wejfer u kontaminazzjoni tal-lenti ottiċi, li jbaxxu direttament ir-rendiment tal-ispezzjoni taċ-ċippa. Bażijiet tal-metall tradizzjonali għandhom żvantaġġi inerenti għal applikazzjonijiet bħal dawn. B'kuntrast, il-komponenti strutturali tal-granit jisfruttaw il-proprjetajiet fiżiċi u kimiċi intrinsiċi li jkunu mhux-manjetiċi u sadid-ħieles biex jissodisfaw ir-rekwiżiti operattivi stretti ta 'kmamar nodfa tas-semikondutturi, u jagħmluhom it-trasportatur ta' referenza preferut għall-ispezzjoni tal-wejfer, screening viżwali u tagħmir tal-metroloġija ta 'preċiżjoni.
L-istazzjonijiet ta 'spezzjoni tas-semikondutturi huma mgħammra b'mod wiesa' b'muturi lineari, sensuri tal-ħakk u moduli ta 'sewqan elettromanjetiku. Bażijiet tal-metall bħall-azzar u l-ħadid fondut huma konduttivi manjetikament. Waqt li jaħdmu l-muturi, għandhom it-tendenza li jseħħu istereżi manjetika u kampi manjetiċi mitlufin. Kampi manjetiċi dgħajfa jistgħu jfixklu l-qari tal-ħakk u anke jinterferixxu ma 'mikroċirkwiti u mikro-komponenti fuq wejfers, li jirriżultaw f'pożizzjonament ta' drift. Il-granit huwa aggregat minerali naturali mingħajr fażijiet konduttivi jew manjetiċi metalliċi, kompletament mhux-manjetiċi. Mhux se jinduċi kampi manjetiċi żejda meta l-muturi jaħdmu kontinwament, b'mod fundamentali jeliminaw żbalji ta 'kejl ikkawżati minn disturb manjetiku u jiżguraw pożizzjonament konsistenti fil-livell tal-mikron-.
L-emulsjonijiet tal-likwidu li jkessaħ, is-solventi tat-tindif u l-arja umda ġeneralment jeżistu ġewwa kmamar nodfa. Il-komponenti tal-metall se jsofru korrużjoni elettrokimika wara espożizzjoni fit-tul għal dawn il-midja u jipproduċu trab tas-sadid. Ladarba jinġarru fl-arja, il-partiċelli tas-sadid jaderixxu faċilment ma 'uċuħ tal-wejfer, lentijiet ottiċi u sensuri ta' skoperta, jikkontaminaw wejfers u jiġġeneraw kwantitajiet kbar ta 'prodotti difettużi. Il-granit m'għandux kundizzjonijiet kimiċi għall-ossidazzjoni u s-sadid. Anke meta-espost għal żmien twil għat-titjir tal-likwidu li jkessaħ jew umdità għolja kostanti fil-kmamar nodfa, ma jiġġenera l-ebda tikek tas-sadid jew trab metalliku. Jissodisfa r-rekwiżiti ta' kontroll tal-partikuli-f'workshops nodfa u jnaqqas ir-riskji tal-kwalità kkaġunati mill-kontaminazzjoni.
Lil hinn mill-merti mhux-manjetiċi u ħielsa mis-sadid-, tagħmir ta' spezzjoni tas-semikondutturi jimponi rekwiżiti stretti fuq l-istabbiltà termali u d-damping tal-vibrazzjonijiet tal-bażijiet. L-ispezzjoni taċ-ċippa ħafna drabi teħtieġ kejl kontinwu fit-tul, filwaqt li jseħħu varjazzjonijiet ħfief fit-temperatura fil-workshops. Il-koeffiċjent ta 'espansjoni termali ultra-baxx tal-granit irażżan id-deformazzjoni tal-punt ta' referenza kkawżata mill-varjazzjoni tat-temperatura. Sadanittant, id-damping inerenti eċċellenti tiegħu jassorbi l-vibrazzjoni ġġenerata waqt il-moviment tal-mutur lineari ta '-veloċità għolja, jipprevjeni t-trasferiment tal-vibrazzjoni għal sondi ta' skoperta u jistabbilizza immaġini ottiċi u kejl dimensjonali.
It-tagħmir tas-semikondutturi jiġi f'diversi konfigurazzjonijiet. Il-komponenti tal-granit jistgħu jiġu fabbrikati apposta-skond it-tpinġijiet tat-tagħmir. Slots T-inkorporati, interfaces tal-bearings tal-arja-u pjani ta 'referenza għall-immuntar tas-sensuri huma disponibbli biex jissodisfaw it-talbiet strutturali ta' pjattaformi ta 'spezzjoni tal-gantry, stadji tal-moviment XY u bażijiet tal-ġarr tal-wejfer. Wara l-magni, il-partijiet tal-granit jgħaddu minn-stress fit-tul-tixjiħ, siġillar tal-pori mikro-u spezzjoni tal-metroloġija ta 'preċiżjoni. It-tolleranzi ġeometriċi huma vverifikati f'-temperatura kostanti, kmamar tal-metroloġija tal-vibrazzjoni-iżolati biex jiggarantixxu l-eżattezza tal-punt ta' riferiment mal-kunsinna u jirreżistu d-deformazzjoni matul is-servizz-fit-tul.
Ħafna manifatturi tat-tagħmir tas-semikondutturi jinkwetaw dwar l-ammont ta 'xogħol ta' manutenzjoni ġewwa cleanrooms. Il-bażijiet tal-metall jeħtieġu tneħħija regolari tas-sadid u tiġdid tal-kisi, u tali manutenzjoni faċilment tiġġenera trab li jikkomprometti l-klassifikazzjoni tal-kamra nadifa. Il-komponenti tal-granit m'għandhomx bżonn trattament perjodiku kontra l--korrużjoni. Il-kura ta' kuljum tinvolvi biss timsaħ uċuħ u t-tneħħija ta' trab minuri akkumulat b'ċarruta ħielsa mit-trab-u aġenti tat-tindif apposta. Il-fluss tax-xogħol tal-manutenzjoni sempliċi jippreserva l-kundizzjonijiet tal-kamra nadifa u jnaqqas l-ispejjeż tal-waqfien.
L-interferenza manjetika, il-kontaminazzjoni tal-partikuli u d-deformazzjoni tal-benchmark huma riskji ewlenin li għandhom jiġu kkontrollati f'applikazzjonijiet ta' metroloġija ta' semikondutturi ta' preċiżjoni inklużi spezzjoni viżwali tal-wejfer AOI, interferometrija u spezzjoni ta' wara-bond. Komponenti strutturali tal-granit UNPARALLELED jikkombinaw karatteristiċi mhux-manjetiċi, ħielsa mis-sadid-, baxxi-deformazzjoni u vibrazzjoni-damping biex jaqblu mal-kundizzjonijiet tat-tħaddim speċjali ta 'cleanrooms semikondutturi. Huma jipprovdu appoġġ ta' referenza stabbli, nadif u mhux-manjetiku għal tagħmir differenti ta' spezzjoni ta' semikondutturi u jgħinu biex jinkisbu flussi tax-xogħol ta' spezzjoni ta 'ċippa stabbli u effiċjenti.