Introduzzjoni: Il-Ħtieġa għal Dinamika ta'-Veloċità Għolja u Riġidità Estrema
Fid-dinja ta '-throughput għoli ta' spezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi, litografija tal-wiri fuq panew ċatt (FPD), u ippakkjar avvanzat, is-sistemi ta 'pożizzjonament għandhom jibbilanċjaw żewġ għanijiet ta' inġinerija konfliġġenti: aċċelerazzjoni dinamika estrema u ripetibbiltà ta 'pożizzjonament sub-micron. Filwaqt li bażijiet massivi tal-granit jipprovdu pedament stazzjonarju ideali, il-partijiet li jiċċaqilqu tas-sistema-bħal travi tal-gantry, cross-slides, u stadji tat-traduzzjoni tal-wejfer- għandhom ikunu ħfief kemm jista 'jkun biex jimminimizzaw l-inerzja, inaqqsu d-dissipazzjoni tas-sħana tal-mutur, u jipprevjenu dewmien fil-ħin tas-saldu.
Metalli ħfief tradizzjonali bħall-aluminju u t-titanju jbatu minn espansjoni termali għolja u ebusija relattivament baxxa, li jwasslu għal flexing dinamiku waqt movimenti ta'-aċċelerazzjoni għolja. Biex jingħelbu dawn il-konġestjonijiet dinamiċi, disinjaturi ta 'sistemi avvanzati qed jużaw dejjem aktar ċeramika teknika. komponenti strutturali personalizzat UNPARALLELED uberings ta' l-arja ta' preċiżjoni, fabbrikati minn-purità għolja Alumina u Karbur tas-Silikon (SiC), jirrappreżentaw il-quċċata tal-inġinerija moderna tal-materjal għal stadji ta' moviment ta'-veloċità għolja.
Karbur tas-Silikon (SiC) vs Materjali Tradizzjonali
Biex nifhmu għaliex il-Carbur tas-Silikon sar il-materjal magħżul għal sistemi ta 'gantry ta'-aċċelerazzjoni għolja, irridu nanalizzaw l-ebusija speċifika tiegħu. L-ebusija speċifika hija definita bħala l-proporzjon tal-modulu ta' Young mad-densità tal-massa:
Ebusija Speċifika=Modulus ta' Young diviż bid-Densità
Ebusija speċifika ogħla tfisser komponent jista 'jiflaħ forzi dinamiċi għoljin u jirreżisti t-tgħawwiġ mingħajr ma jżid massa bla bżonn mas-sistema.
Azzar Strutturali: Densità ta '7.85 grammi għal kull ċentimetru kubu, Modulus ta' Young ta '210 Giga-Pascals, Ebusija Speċifika ta' 26.7, Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali ta' 12.0 x 10^-6 għal kull Kelvin.
Aluminju 6061: Densità ta '2.70 gramma għal kull ċentimetru kubu, Modulu ta' Young ta '69 Giga-Pascals, Ebusija Speċifika ta' 25.5, Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali ta' 23.0 x 10^-6 għal kull Kelvin.
Alumina (99 fil-mija pura): Densità ta '3.90 gramma għal kull ċentimetru kubu, Modulu ta' Young ta '370 Giga-Pascals, Ebusija Speċifika ta' 94.8, Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali ta' 8.0 x 10^-6 għal kull Kelvin.
Karbur tas-Silikon (SiC): Densità ta '3.15 grammi għal kull ċentimetru kubu, Modulu ta' Young ta '410 Giga-Pascals, Ebusija Speċifika ta' 130.1, Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali ta' 4.0 x 10^-6 għal kull Kelvin.
Kif muri f'din id-dejta komparattiva, Silicon Carbide għandu ebusija speċifika li hija kważi ħames darbiet akbar minn dik tal-azzar jew tal-aluminju. Dan il-vantaġġ fiżiku drammatiku jippermetti lill-inġiniera UNPARALLELED jiddisinjaw travi strutturali ħfief u vojta-qalba għal stadji tal-wejfer li ma jitgħawġux, jitgħawweġ, jew ma jxekklux taħt rati ta' aċċelerazzjoni li jaqbżu 2g (li hija bejn wieħed u ieħor 19.6 metri kull sekonda kwadrata).
Disinn u Fiżika ta 'Bearings ta' l-Ajru taċ-ċeramika ta 'preċiżjoni
Il-berings ta 'l-arja ta' preċiżjoni jutilizzaw film irqiq ta 'arja xotta nadifa taħt pressjoni biex isostnu tagħbija li tiċċaqlaq, u jiksbu moviment ta' xedd kompletament bla frizzjoni, żero-. Il-ħxuna ta 'dan il-film ta' l-arja hija tipikament bejn 5 u 10 mikrometri. Minħabba li l-film ta 'l-arja huwa tant irqiq, kwalunkwe devjazzjoni ġeometrika, mikro-ħruxija, jew distorsjoni termali tal-wiċċ tal-bearing jistgħu jikkawżaw li l-bearing tiġġarraf, li tirriżulta f'falliment katastrofiku tas-sistema.
UNPARALLELED jindirizza din l-isfida billi jimmanifattura komponenti li jġorru l-arja minn Alumina ta'-purità għolja u Karbur tas-Silikon. Dawn il-materjali joffru diversi vantaġġi kritiċi fl-applikazzjonijiet li jġorru l-arja:
Stabbiltà Dimensjonali Taħt Pressjoni: Il-modulu elastiku għoli taċ-ċeramika jiżgura li l-uċuħ tal-bearing ma jiddeformawx taħt il-pressjonijiet lokalizzati għoljin (spiss sa 0.6 Mega-Pascals) tal-provvista tal-arja kkompressata.
Reżistenza għall-grif u l-ilbies: Jekk isseħħ nuqqas ta 'enerġija u l-provvista tal-arja tinqata' f'daqqa, l-istadju li jiċċaqlaq jagħmel kuntatt dirett mal-ferrovija tal-gwida. Taħt dawn il-kundizzjonijiet niexfa-li jiżżerżqu, il-bearings tal-metall se jgħarrqu u jaħtfu istantanjament. Il-binarji ta' gwida taċ-ċeramika, bl-ebusija estrema tagħhom, jistgħu jgħix-avvenimenti ta' illandjar b'veloċità għolja mingħajr grif jew ħsara fil-wiċċ.
Finitura Eċċellenti tal-wiċċ: Permezz ta 'tħin tad-djamanti u kimiku -illustrar mekkaniku (CMP), UNPARALLELED finituri uċuħ gwida taċ-ċeramika għal ħruxija tal-wiċċ ta' Ra inqas minn jew ugwali għal 0.05 mikrometri. Din il-finitura bħal mera-tiggarantixxi spazju ta' arja perfettament uniformi u dinamika tal-film tal-fluwidu prevedibbli ħafna.
Manifattura u Assigurazzjoni tal-Kwalità ta' Ġeometriji Ċeramika Kumpless
Is-sinterizzazzjoni u l-magni taċ-ċeramika teknika hija proċess oerhört impenjattiv. Is-sinterizzazzjoni ta 'trabijiet taċ-ċeramika mhux maħduma f'temperaturi li jaqbżu l-2000 grad Celsius tikkawża tnaqqis sinifikanti, li għandu jiġi kkalkulat u kkontrollat bir-reqqa.
F'UNPARALLELED, il-faċilità tal-manifattura tagħna hija mgħammra b'ċentri tal-magni ħodor-stat-stat{-stat biex jiffurmaw il-komponenti taċ-ċeramika qabel is-sinterizzazzjoni, segwiti minn sistemi ta' tħin tad-djamanti ta'-preċiżjoni għolja biex jintemmu l-partijiet sinterizzati ultra-iebsa. Aħna kapaċi nipproduċu profili ġeometriċi kumplessi, inklużi ċokkijiet tal-vakwu integrati għall-immaniġġjar tal-wejfers, vaguni tal-arja b'ħafna assi-, u mirja ta' referenza ultra-ċatti għall-interferometrija bil-lejżer.
Il-prodotti finali kollha huma soġġetti għal ttestjar rigoruż fil-laboratorji tagħna ċertifikati ISO-. Bl-użu ta' interferometri tal-lejżer u magni tal-kejl tal-koordinati tridimensjonali, aħna nivverifikaw li kull komponent taċ-ċeramika jissodisfa t-tolleranzi ġeometriċi speċifikati tiegħu, u niżguraw integrazzjoni bla xkiel fl-istadji tal-muturi lineari tal--ġenerazzjoni li jmiss tiegħek.