Mhux kull biċċa ta 'tagħmir tal-proċess tas-semikondutturi għandha l-istess ħtiġijiet strutturali, u dan l-artikolu huwa deliberatament dejjaq fl-ambitu: ikopri bażijiet strutturali tal-granit u interfaces ta' immuntar ta 'preċiżjoni ġewwa tagħmir semikonduttur - il-pjattaforma li fuqha huma mmuntati stadji, binarji, sensuri u moduli tal-proċess. L-oqfsa tal-metroloġija, il-pjattaformi tal-moviment u l-apparati ta 'spezzjoni kull wieħed iqajmu l-mistoqsijiet tagħhom stess, u t-"tagħmir semikonduttur" kollu flimkien jaħbi d-deċiżjonijiet li fil-fatt jimpurtaw.
Reviżjoni tad-disinn hija fejn dawk id-deċiżjonijiet joħorġu. Qabel ma aħna magna ċangatura waħda għal abażi tal-granit għal tagħmir semikonduttur, It-tim tal-inġinerija tagħna jaħdem permezz tal-mistoqsijiet hawn taħt mal-klijent. Użahom bħala lista ta 'kontroll għar-reviżjoni tad-disinn tiegħek stess.
1. Liema uċuħ huma datums tal-assemblaġġ jew tal-kejl?
Bażi tal-granit normalment ikollha wiċċ ta 'fuq primarju wieħed flimkien ma' diversi interfaces sekondarji. Il-mistoqsija ta 'reviżjoni hija liema uċuħ il-klijent fil-fatt se jkejjel u jiġbor kontra - u f'liema ordni. Il-ġerarkija tad-datum tmexxi s-sekwenza tal-magni, għalhekk aħna nikkonfermawha fuq it-tpinġija qabel ma tikkwota, mhux wara l-magni.
2. Flatness ġenerali, jew flatness f'żoni definiti?
Il-klijenti spiss jistaqsu għal "0.005 mm flatness" mingħajr ma jispeċifikaw jekk tapplikax għall-wiċċ kollu jew biss għaż-żoni taħt l-istadju u l-binarji. F'ħafna disinji, it-tolleranza tal-wiċċ sħiħ tista 'tiġi rilassata filwaqt li ż-żoni kritiċi jiġu ssikkati, li jqassar il-ħin tal-imwarrab u jbaxxi l-ispiża. Ir-reviżjoni tagħna dejjem tindika dan: liema żoni, liema tolleranza, imkejla fuq liema żona.
3. Kif il-bażi hija appoġġjata u mgħobbija?
L-appoġġ bi tliet punti huwa nadif kinematikament; appoġġ b'ħafna punti jew b'wiċċ sħiħ jista 'jqassam aħjar tagħbijiet tqal tal-istadju iżda jeħtieġ flatness fil-postijiet ta' appoġġ. Il-piż tal-istadju, ir-reazzjonijiet tal-assi li jiċċaqilqu u t-tagħbijiet tal-punt minn moduli tal-proċess kollha jaffettwaw l-għażla. Aħna nikkonfermaw ukoll jekk il-bażi toqgħodx fuq muntaturi ta 'iżolament, berings ta' l-arja jew qafas ta 'l-azzar, minħabba li d-disinn ta' l-interface ġej minnu.
Id-dijagramma simplifikata hawn fuq turi l-interfaces li r-reviżjoni tagħna tkopri: il-wiċċ tad-datum tal-kejl u l-assemblaġġ, il-gwida lineari u l-interfaces tal-mutur lineari, id-datum tal-ġenb sekondarju, l-iskema ta 'appoġġ u dispożizzjonijiet għal sensuri u rotta tal-kejbil.
4. Kif huma mmuntati binarji, muturi lineari u sensuri?
Il-binarji ta 'gwida u l-muturi lineari jeħtieġu preċiżjoni tal-pożizzjoni relattiva għad-datums, inserzjonijiet bil-kamin f'materjali definiti, u xi kultant pjanċi tal-azzar intermedji għal raġunijiet termali jew ta' xedd. Is-sensuri u l-ktajjen tal-kejbil jeħtieġu bwiet, kanali u rotta nadifa li ma tfixkilx l-istadju li jiċċaqlaq. Kull wieħed minn dawn huwa ċċekkjat għall-manifattura fil-granit - daħħal il-fond, id-distanzi tat-tarf u l-ħxuna minima tal-ħajt inklużi.
5. X'inhuma r-rekwiżiti ta 'ndafa, immaniġġjar u assemblaġġ?
L-ambjenti tal-assemblaġġ tas-semikondutturi jimponu restrizzjonijiet reali: l-ebda difett li jiġġenera t-trab, tindif definit qabel il-ġarr, punti ta 'rfigħ li ma jagħmlux ħsara lill-uċuħ lapped, u ippakkjar li jgħix it-trasport tal-esportazzjoni mingħajr ma jikkontamina l-parti. Aħna nikkonfermaw dawn mal-klijent flimkien mal-iskeda tal-kunsinna, minħabba li jibdlu l-pjan tal-proċess.
6. X'inhuma l-kundizzjonijiet u l-metodi ta 'aċċettazzjoni?
Minflok ma wegħdu li "l-bażijiet kollha tas-semikondutturi jilħqu l-istess preċiżjoni", naqblu minn qabel dwar x'se jitkejjel, b'liema strument, u x'se juri r-rapport: mapep tal-flatness għal kull żona, paralleliżmu ta 'datums tal-ġenb, daħħal testijiet tat-torque jekk meħtieġ, u rapport ta' spezzjoni finali mibgħut mal-bażi. Il-folja ta 'aċċettazzjoni hija parti mill-output tar-reviżjoni tad-disinn, mhux wara ħsieb.
Framment tal-proġett: mill-mistoqsija sal-kunsinna verifikata
Fi proġett reċenti għal integratur ta 'tagħmir ta' spezzjoni, it-tpinġija tal-klijent talbet għal "flatness 0.005 mm" fuq wiċċ ta 'fuq ta' 1,900 x 1,400 mm, u l-kwotazzjoni li rċevew minn diversi fornituri assumiet li lapping tal-wiċċ sħiħ. Matul ir-reviżjoni tad-disinn tagħna staqsejna liema reġjuni fil-fatt iġorru l-palk u l-binarji. Il-klijent ikkonferma li żewġ żoni ferrovjarji biss u ż-żona tal-immuntar tal-palk kienu referenzi funzjonali tal-kejl. Aħna pproponejna tolleranzi taż-żoni, it-tim tal-inġinerija tal-klijent ivverifika l-immappjar tat-tagħbija, u r-reviżjoni tat-tpinġija miftiehma rriflettaha.
Il-magni segwa l-pjan rivedut: tħin mhux maħdum, rilassament tal-istress, imbagħad lapping ta 'preċiżjoni kkonċentrat fuq iż-żoni kritiċi. Qabel il-ġarr, il-klijent irċieva r-rapport tal-kejl tal-flatness għal kull żona definita, meħud fuq it-tagħmir ta 'spezzjoni tagħna f'20 C, flimkien ma' ritratti tal-bażi ppakkjata. Il-parti għaddiet mill-ispezzjoni li deħlin tal-klijent mingħajr rapport ta 'devjazzjoni wieħed - u l-proċess ta' reviżjoni, mhux il-wegħda, huwa dak li għamilha possibbli.
Ħsieb tal-interface simili japplika madwar tagħnakomponenti tal-granit semikondutturiu pjattaformi tal-magni tal-kejl, kemm jekk il-bażi hija ċangatura waħda jew assemblaġġ tal-granit b'ħafna biċċiet.
Jekk qed tiddisinja jew tintegra tagħmir semikonduttur, ibgħatilna d-deskrizzjoni tal-applikazzjoni tiegħek, l-interfaces tal-installazzjoni u t-tpinġijiet. It-tim tal-inġinerija tagħna se jirrevedihom miegħek, iqajjem il-mistoqsijiet ta 'hawn fuq qabel ma jsiru bidliet għaljin, u jipproponi pjan ta' manifattura u spezzjoni għall-proġett.