Kif Tiżviluppa Anti-Statiku U Preċipitazzjoni-Soluzzjonijiet Ħieles għall-Ipproċessar Għat-Tabelli tal-Granit Ta' Tagħmir ta' Spezzjoni tal-Wajfer

Tagħmir avvanzat ta 'spezzjoni tal-wejfers jimponi standards stretti fuq skala nanoskala dwar l-indafa tas-sottostrat u l-kontroll statiku. Mingħajr trattament iddedikat, l-uċuħ tal-mejda tal-granit ordinarji jippreżentaw żewġ kwistjonijiet industrijali ewlenin: il-ċarġ statiku jakkumula permezz ta 'frizzjoni u skariku instantanju jikser strutturi ta' gate ultra-rqaq, li jqanqal skrappjar tal-wejfers tal-massa; joni tal-metall solubbli ġewwa lissija tal-ġebel gradwalment maż-żmien, li jikkontaminaw mogħdijiet ottiċi u ċirkwiti taċ-ċippa biex jikkawżaw ċirkuwiti qosra u difetti fil-post skur. Il-biċċa l-kbira tal-fornituri tal-ġebel iwettqu biss illustrar sempliċi mingħajr ipproċessar integrat ta' anti-statiku u baxx-jone, u jonqos milli jilħaq l-istandards tal-kamra nadifa tal-Klassi ISO 5/6 għall-ispezzjoni tal-wejfer. Bħala manifattur ta' referenza tal-granit ta' grad ta' cleanroom-għal semikondutturi, UNPARALLELED® jisfrutta minerali esklussivi tal-granit iswed premium ta'-jone, linji ta' produzzjoni nadif ta' Klassi 10,000 f'temperatura kostanti-u laboratorju dedikat għall-ittestjar tas-semikondutturi biex joħloq soluzzjoni integrata standardizzata anti-statika{13}} u joni{1}imblukkar{1}}. Il-kontroll sħiħ tal--proċess li jkopri l-iskrinjar tal-materja prima, il-magni ta' preċiżjoni, il-modifika tal-wiċċ, il-kisi tas-siġillar u l-ispezzjoni tal-fabbrika jissodisfa rekwiżiti kemm ta' dissipazzjoni statika kif ukoll ta' lissija ta' jone qrib-żero, u jagħti soluzzjonijiet ta' sottostrat konformi għal magni AOI, stazzjonijiet tas-sonda u pjattaformi ta' spezzjoni ottika.
L-iskrinjar tal-materja prima iggradat ta' quddiem-is-sors jifforma l-pedament biex irażżan il-preċipitazzjoni tal-jone fis-sors. Il-granit tal-wafer-grad tal-kumpanija jiġi minn vini tal-minerali omoġenji premium. Minerali suxxettibbli għall-melħ tal-metall solubbli bħal feldspar u majka huma eliminati waqt it-tħaffir. Il-mineral li jidħol jgħaddi minn testijiet ta 'lissija tal-jone minn qabel, b'lottijiet kwalifikati biss għal livelli baxxi ta' sodju, potassju, ħadid u jonji tar-ram aċċettati. L-assorbiment tal-ilma nattiv tiegħu huwa kkontrollat ​​taħt 0.08% b'pori mikro kapillari minimi. B'differenza mill-granit ġenerali tal-magni-għodda, il-ġebla kollha għat-tagħmir tal-wejfer tgħaddi minn trattament minn qabel ta' tixrib ta' ilma pur ta' 7{-ijiem biex tħoll jonji solubbli ħielsa internament qabel it-tnixxif u l-ipproċessar, u telimina l-kontaminazzjoni tal-jone-fit-tul f'workshops nodfa. Il-materja prima tgħaddi wkoll mill-iskrining tal-karatteristiċi statiċi biex tirrifjuta lottijiet sinjuri f'impuritajiet konduttivi suxxettibbli għall-akkumulazzjoni tal-iċċarġjar, u tnaqqas id-diffikultajiet għal modifika anti-statika sussegwenti.
Makkinar ta' preċiżjoni nadif segmentat jikseb uċuħ ultra-lixx b'trab baxx u residwu tal-jone. Il-proċeduri kollha jitlestew f'ħanut tax-xogħol nadif kostanti ta'-temperatura u umdità Klassi 10,000 biex jiġu evitati impuritajiet esterni maqbuda fil-pori tal-ġebel. L-abrażivi tad-djamanti ħielsa tal-metall - huma adottati għal tħin mhux maħdum, tħin fin u nano-illustrar biex jipprevjenu l-kontaminazzjoni tal-ħadid u l-aluminju barrani. Semikondutturi-grad għoli-ilma dejonizzat ta' purità mingħajr melħ jew surfactants iservi bħala likwidu li jkessaħ biex iwaqqaf l-infiltrazzjoni tar-residwu tal-jone fil-lakuni tal-kristall. Nano illustrar jagħti ħruxija tal-wiċċ Ra Inqas minn jew ugwali għal 0.05μm; il-wiċċ ultra-lixx inaqqas il-ġenerazzjoni triboelettrika u l-adeżjoni tat-trab filwaqt li jimminimizza l-lissija tal-jone kkawżata miż-żamma tal-umdità. Il-biċċiet tax-xogħol ta' wara-ipproċessar jgħaddu minn tindif ta' ilma pur ultrasoniku ta' tliet-stadji biex ineħħu abrażivi residwi u traċċi ta' jonji, segwiti minn tnixxif ħieles ta'-temperatura ta' trab-u ħażna ssiġillata biex jiġi evitat tniġġis sekondarju.
Il-proċess ta' kisi kompost b'effett doppju-, il-qalba tas-soluzzjoni, jagħti dissipazzjoni statika fit-tul-u prestazzjoni tal-barriera tal-jone. L-abbandun tal-kisi anti-statiku singolu magħruf għal lissija tal-jone u reżistenza fqira għall-ilbies, awto-UNPARALLELED jiżviluppa sistema ta 'siġillar dissipattiv statiku tal-jone baxx applikata f'żewġ saffi vulkanizzati: is-siġillant tal-barriera tal-jone tal-qiegħ jimla bis-sħiħ lakuni mikro interkristallini biex jifforma film ta' iżolament tal-metall intern dens; il-kisja dissipattiva statika tat-tubu tan-nano tal-karbonju ta 'fuq ma fiha l-ebda fillers konduttivi metalliċi biex tevita tniġġis tal-jone żejjed, iżżomm reżistenza stabbli tal-wiċċ ta' 10⁷ ~ 10⁸Ω f'konformità ma 'standards ESD ta' cleanroom biex tirrilaxxa l-istatika bil-mod mingħajr skarigu istantanju ta '-vultaġġ għoli. Il-kisja baxxa ta'-ħruġ ta' gass tas-silikon-ħieles jiflaħ timsaħ ripetut b'ċarruta tal-kamra nadifa u deterġenti tal--alkali tal-aċidu, jirreżisti l-ġibs u t-tqaxxir biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni tal-partiċelli fil-wejfers. Il-kisja tfejjaq f'ċikli segmentati ġewwa kamra nadifa ta'-temperatura kostanti biex tirrilaxxa l-istress intern u tevita l-falliment tal-qsim.
Strutturi standardizzati ta 'l-ert integrati jottimizzaw il-ħardwer ta' skariku statiku biex jeliminaw l-akkumulazzjoni ta 'ċarġ lokalizzata. Bażijiet ta 'l-ert konduttivi apposta huma ddisinjati għal pjattaformi ta' spezzjoni tal-wejfer, b'kuntatti konduttivi ħielsa joni inkorporati konnessi bla xkiel mal-kisi għal reżistenza uniformi fuq il-mejda kollha mingħajr żoni blind statiċi. Appoġġ iżolat tal-prova tal-umdità-fil-qiegħ tal-blokka ħlasijiet tal-art mitlufa u l-penetrazzjoni tal-umdità taħt l-art biex irażżan aktar il-lissija tal-joni. Il-komponenti kollha ta 'l-ert jadottaw azzar li ma jissaddadx passivat ħieles minn partijiet galvanizzati jew miksija bir-ram- biex jeskludu r-riskji ta' preċipitazzjoni ta 'jone tal-metall.
Spezzjoni komprensiva tal-ħruġ ta' prestazzjoni doppja-bi traċċabilità sħiħa tilħaq standards stretti ta' verifika tal-fornitur tas-semikondutturi. Kull wafer lest-mejda tal-granit tal-grad tgħaddi minn żewġ testijiet speċjalizzati:
Test anti-statiku: Il-kejl tar-reżistenza tal-wiċċ b'ħafna-punti jiżgura reżistenza stabbli fil-medda standard mingħajr fluttwazzjoni drastika taħt umdità għolja u baxxa;
Test tal-lissija tal-jone: Il-konċentrazzjoni tal-jone tal-metall titkejjel wara immersjoni ta 'ilma pur ta' 24 siegħa, bil-joni kollha ta 'ħsara ferm taħt il-limiti tal-industrija.
It-testijiet tal-metroloġija sħiħa li jkopru l-flatness, il-ħruxija, il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u l-assorbiment tal-ilma jsiru simultanjament. L-istrumenti kollha tal-kejl huma traċċabbli għal istituti provinċjali tal-metroloġija, u d-dejta kollha tat-test hija maħżuna b'mod permanenti taħt il-kodiċi ta 'traċċabilità uniku ta' kull biċċa tax-xogħol. Ir-rapporti tat-test tas-CMA ta' partijiet terzi- huma disponibbli fuq talbiet ta' proċess speċjali mill-klijenti.
Appoġġjati minn żewġ bażijiet ta 'manifattura intelliġenti ta' 200,000 ㎡, ċertifikazzjoni tripla ISO, ċertifikazzjoni CE u privattivi multipli għat-trattament tal-ġebel tal-kamra nadifa, toptops tal-granit anti-statiku baxx-jone bla paragun huma fornuti bil-massa lil ditti ewlenin tas-semikondutturi inklużi Samsung, Apple, Singapor STI u Akribis, applikati f'linji ta 'produzzjoni{5}{4}i{4}i{5}stati} għolja. spezzjoni tal-wejfer, ittestjar tas-sonda u skoperta ottika tal-perovskite. Il-verifika fuq il-post tal-klijenti turi li d-difetti ta 'tqassim statiku jinżlu b'92%, u r-rifjuti tal-wejfers ikkawżati mit-tniġġis tal-jone huma kważi eliminati, qtugħ ta' skrappjar tal-produzzjoni u frekwenza tat-tindif tat-tagħmir b'mod sinifikanti. Il-kumpanija tikkoopera kontinwament mal-laboratorji tal-materjali tas-semikondutturi tal-università biex ittejjeb il-formuli tal-kisi, tottimizza l-kriterji tal-iskrinjar tal-minerali tal-jone baxx-u tavvanza t-teknoloġija tal-ipproċessar tal-protezzjoni doppja-.
Li ssostni l-politika ta 'kwalità "In-negozju ta' preċiżjoni ma jistax ikun esiġenti wisq", is-soluzzjoni standardizzata ta 'proċessar ta' imblukkar anti-statiku u jone-UNPARALLELED timla l-lakuni tal-industrija fil-kontroll tas-sottostrat u tindirizza żewġ perikli ewlenin ta 'tagħmir ta' spezzjoni tal-wejfer: kontaminazzjoni u ħsara statika. Nimxu 'l quddiem, l-intrapriża se tespandi linji ta' prodotti tal-granit speċjali ultra-naddaf, tirrilaxxa speċifikazzjonijiet kompluti tal-ipproċessar tas-sottostrat tas-semikondutturi, tgħin lill-manifatturi taċ-ċippa globali jistabbilizzaw ir-rendiment u jnaqqsu l-ispejjeż tal-operat tal-kamra nadifa, u jalimentaw l-iżvilupp ta '-kwalità għolja ta' industriji avvanzati tas-semikondutturi-node.