Fid-dinja tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi u l-ottika ta' preċiżjoni, il-kejl mhuwiex biss dwar l-eżattezza-ikun dwar stabbiltà assoluta, ripetibbiltà, u kompatibilità ma' ambjenti estremi. Gauges tradizzjonali bbażati fuq metall jew polimeru-spiss ma jaqgħux taħt kundizzjonijiet ta' kamra nadifa, ċikli ta'-metroloġija ta' frekwenza għolja, jew tolleranzi ta'-nanometru.
Daħħal għodod tal-metroloġija taċ-ċeramika ta 'preċiżjoni-inġinerija minn kompożiti avvanzati taż-żirkonja (ZrO₂) u alumina (Al₂O₃), dawn il-komponenti qed isiru malajr l-istandard tad-deheb għal ħidmiet ta' spezzjoni kritiċi f'fabs tal-wejfer, linji ta 'produzzjoni ta' lenti ottiċi, u laboratorji ta' riċerka ta' livell-nazzjonali.
Hawn huma l-ħames vantaġġi tekniċi li jagħmlu ċ-ċeramika ta' preċiżjoni mhux biss preferibbli-iżda ħafna drabi insostitwibbli-f'applikazzjonijiet ta' skoperta-high-end.
1. Qrib -Espansjoni Termali Żero – Stabbiltà fin-Nanoskala
Għaliex huwa importanti: Ċaqliq ta 'grad 1 jista' jinduċi mikroni ta 'żball apparenti f'setups interferometriċi sensittivi.
Iċ-ċeramika strutturali ta 'preċiżjoni juru koeffiċjent ta' espansjoni termali (CTE) baxx daqs 0.5–1.0 × 10⁻⁶ / grad -sinifikament aktar baxxi minn azzar li ma jissaddadx (~16 × 10⁻⁶ / grad ) u anke liga Invar (~ 1.2 × 10⁶ /⁻ grad). Dan jiżgura integrità dimensjonali tul il-varjazzjonijiet tat-temperatura komuni f'operazzjonijiet fab 24/7.
Riżultat: Blokki tal-kejl taċ-ċeramika u sferi ta 'referenza jżommu l-kalibrazzjoni għal xhur mingħajr drift, u jnaqqsu l-frekwenza tal-kalibrazzjoni mill-ġdid sa 70%.
2. Reżistenza eċċezzjonali għall-ilbies u l-grif - Mibnija għal Użu ta' Ċiklu Għoli-
Għaliex huwa importanti: Kuntatt ripetut waqt probing awtomatizzat jiddegrada materjali rotob, u jintroduċi bias tal-kejl.
B'valuri ta 'ebusija Vickers li jaqbżu l-1200 HV (vs. ~ 200 HV għal azzar imwebbes), iċ-ċeramika ta' preċiżjoni tirreżisti l-brix minn wejfers tas-silikon, substrati taż-żaffir, u sondi b'tarf tad-djamant-. Il-ħruxija tal-wiċċ tibqa' stabbli f'Ra Inqas minn jew ugwali għal 0.01 µm anke wara 100,000+ ċiklu ta' kuntatt.
Eżempju ta 'applikazzjoni: Il-gauges tagħna tat-tarf tal-wejfer ZrO₂ użati fl-allinjament tal-litografija EUV juru xedd żero li jista' jitkejjel wara 18-il xahar ta 'tħaddim kontinwu.
3. Insulazzjoni Elettrika Perfetta - L-ebda Riskju ta 'ESD jew Tnixxija ta' Kurrent
Għaliex huwa importanti: Fil-metroloġija tas-semikondutturi, anke t-tnixxija ta' mikro-amp jista' jagħmel ħsara lill-apparati sensittivi jew jgħawweġ ir-riżultati tat-testijiet elettriċi.
Ceramics are inherently non-conductive (volume resistivity >10¹⁴ Ω·cm), jeliminaw ir-riskji ta’:
Skarigu elettrostatiku (ESD) waqt l-immaniġġjar
Kurrenti parassiti fi stazzjonijiet tas-sonda
Interferenza tas-sinjali f'sistemi ta'-raġġ jew AFM
Dan jagħmilhom ideali għall-użu ħdejn fotomasks, sensuri MEMS, u attrezzaturi tat-test tal-komputazzjoni kwantistika.
4. Mhux-Manjetiku u RF-Trasparenti – Interferenza-Ħieles f'Ambjenti Sensittivi
Għaliex huwa importanti: Il-kampijiet manjetiċi mill-għodda jistgħu jiddevjaw ir-raġġi tal-elettroni jew jgħawġu l-ittestjar tal-midja tal-ħażna manjetika.
Iċ-ċeramika ta’ preċiżjoni fiha żero elementi ferromanjetiċi, li jiżguraw kompatibilità ma’:
Kolonni tal-immaġini SEM/TEM
Tagħmir tal-laboratorju kompatibbli għall-MRI-
Spintronic u memorja manjetika R&D
Barra minn hekk, in-natura dielettrika tagħhom tippermetti integrazzjoni bla xkiel fis-setups tat-test RF u microwave mingħajr riflessjoni jew attenwazzjoni tas-sinjal.
5. Ultra-Nadif u Kimikament Inerti – Iddisinjati għal Kmamar Nodfa tal-Klassi ISO 1–5
Għaliex huwa importanti: L-outgassing, it-tixrid tal-partiċelli, jew ir-reattività kimika jistgħu jikkontaminaw wejfers jew kisjiet ottiċi.
L-għodod taċ-ċeramika ta 'preċiżjoni tagħna huma:
Non-porous (density >99.5%) → l-ebda assorbiment ta 'umdità jew tkabbir mikrobjali
Reżistenti għall-aċidi, bażijiet, u solventi (inkluż fwar HF, cleans SC1/SC2)
Tnixxija baxxa ta' gass (skond ASTM E595: TML<0.1%, CVCM <0.01%)
Mhux-twaqqigħ taħt tindif ultrasoniku jew plażma
Ċertifikat għall-użu fl-ambjenti tal-Klassi 1 ISO 14644-1-l-aktar standard strett tal-kamra nadifa fl-industrija.
-Applikazzjonijiet fid-Dinja reali madwar l-Industriji
Semikondutturi: gauges tal-ħxuna tal-wejfer, labar tal-ikklampjar tar-retikulu, jigs tal-allinjament tal-karta tas-sonda
Ottika: Flats ta' referenza tal-interferometru, kmiem li jċentraw il-lenti, bejtiet tal-metroloġija tal-asfera
Laboratorji ta' Riċerka: Attrezzaturi tal-kejl krijoġeniku, stadji tal-pożizzjonament tal-kamra tal-vakwu, komponenti tal-arloġġ atomiku
Għaliex "Tajjeb Biżżejjed" Mhuwiex Biżżejjed
Għodod tal-metall jistgħu jkunu biżżejjed għall-magni ġenerali-iżda f'oqsma fejn nanometru wieħed jiddefinixxi s-suċċess jew il-falliment, l-għażla tal-materjal issir missjoni-kritika. Iċ-ċeramika ta 'preċiżjoni telimina varjabbli moħbija: l-ebda creep termali, l-ebda isteresi manjetika, l-ebda korrużjoni, l-ebda riskju ESD.
F'Unparalleled Group, aħna nimanifatturaw għodod tal-metroloġija taċ-ċeramika ta' preċiżjoni ċċertifikata biex:
ISO 3650 (speċifikazzjonijiet ġeometriċi tal-prodott)
SEMI F57 (materjali għall-immaniġġjar tas-semikondutturi)
MIL-STD-883 (metodi tat-test tal-mikroelettronika)
Kull komponent jgħaddi minn interferometrija bil-lejżer, validazzjoni CMM, u ippakkjar ta 'kamra nadifa qabel il-ġarr.